“可是,这样一来,紫外光的强度又成倍数增加,而且,因为碳的光学特性,使它被吸收的更多,这样原本激光光源能够达到要求吗?”
听到张振兴的话,陈阳忍不住感叹,不愧是研究芯片的,提的问题都一针见血!
“为了能够实现高强度的光刻,我们使用波长更短,更加“锋利”的终极紫外光。”
“什么?终极紫外光?”张振兴一脸的不解。
“没错。紫外光的波长范围在10-216纳米之间,之前使用的光源在197纳米的深紫外光,现在光刻机使用的都是13。5纳米极紫外光源,而这还不够,我们用的终极紫外光就是紫外光的极限10纳米终极紫外光。”kΑnshu5là
“不可能!绝对不可能!”张振兴脱口而出道。
“现在用激光轰击锡液滴获得13、5纳米的极紫外光已经是达到了极限,而且,耗电量达到了惊人的恐怖程度,若是想要获得波长更短,强度更大的终极紫外光,那耗电量岂不是比现在的还要高很多!而且,还要求对光学掩膜发射器达到令人发指的地步,这些……都……”
“都已经突破了!你没发现咱们的这个芯片工厂建在了黑龙基地旁边吗?等到可控核聚变电站运转,电量根本不是问题。”
“至于要求更高的光学掩膜,你看看这个。”说完,陈阳把一个样品送到了张振兴面前。
“这是咱们现在利用芥子扫描显微镜下,动态化学法磨出的平整度±10皮米的掩膜器,相当于一个太平洋那么大面积的玻璃,凹凸误差在10皮米以下!可以大幅度的反射终极紫外光,但是,对其他的光,却可以全部吸收!”
听到这话,张振兴震惊了!
看着那些东西,过了半晌才反应过来!
“这些技术您真的全都突破了?”
这得多少工艺创新点,这得多少创新成果?
光源,栅极构造,光学掩膜器……任何一项,都是重大突破,竟然全部被陈教授一个人搞定了?
“不然呢?要不然咱也没必要非得制造1纳米制程工艺点的光刻机啊。”陈阳笑着说道。
“好,我马上把这些工作全部分发下去,保证在一个星期!不!三天!三天内把成果交个您。”
“好!辛苦了!”
“不!和您的工作比起来,我们这些,不值一提!”张振兴激动道。
三月,初春。
看最新章节内容下载爱阅小说app,最新章节内容已在爱阅小说app,网站已经不更新最新章节内容。南凰洲东部,一隅。
阴霾的天空,一片灰黑,透着沉重的压抑,仿佛有人将墨水泼洒在了宣纸上,墨浸了苍穹,晕染出云层。
云层叠嶂,彼此交融,弥散出一道道绯红色的闪电,伴随着隆隆的雷声。
好似神灵低吼,在人间回荡。
请下载爱阅小说app,无广告免费阅读最新章节内容。血色的雨水,带着悲凉,落下凡尘。
大地朦胧,有一座废墟的城池,在昏红的血雨里沉默,毫无生气。
城内断壁残垣,万物枯败,随处可见坍塌的屋舍,以及一具具青黑色的尸体、碎肉,仿佛破碎的秋叶,无声凋零。
往日熙熙攘攘的街头,如今一片萧瑟。
曾经人来-->>